N.SATO,S.IIZUKA: "Effects of electoron temperature control on an Ar-CH_4 plasma" Proc.of the Inter.Seminor on Reactive Plasmas.1. 371-376 (1991)

N.SATO,S.IIZUKA: "Effects of electoron temperature control on an Ar-CH_4 plasma" Proc.of the Inter.Seminor on Reactive Plasmas.1. 371-376 (1991)
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N.SATO,S.IIZUKA:“电子温度控制对 Ar-CH_4 等离子体的影响”Proc.of the Inter.Seminor on Reactive Plasmas.1。

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