Improved Compositional Uniformity of lnGaAsP Grown by Low Pressure Metal Organic Vapor Phase Epitaxy Using Tertiary Butyl Phosphine as the Phosphorus Source

Improved Compositional Uniformity of lnGaAsP Grown by Low Pressure Metal Organic Vapor Phase Epitaxy Using Tertiary Butyl Phosphine as the Phosphorus Source
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以叔丁基膦为磷源低压有机金属气相外延生长 lnGaAsP 的成分均匀性得到改善

DOI:
10.1016/0022-0248(92)90446-p
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发表时间:
1992
期刊:
Sixth International Conference Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
影响因子:
--
通讯作者:
K. Trapp
K. Trapp
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
J. Zilko;P. S. Davisson;L. Luther;K. Trapp

文献摘要

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