Basics and Applications of High-Density Helicon Plasma Sources
Basics and Applications of High-Density Helicon Plasma Sources
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高密度螺旋等离子体源的基础知识和应用
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小林辰也 清川泰志;武内ゆかり;森裕司.;S.Shinohara
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