Diamond MEMS Sensors in "Encyclopedia of Sensors" Vol.X (edited by C.A.Grimes, E.C.Dickey, and M.V.Pishko)
Diamond MEMS Sensors in "Encyclopedia of Sensors" Vol.X (edited by C.A.Grimes, E.C.Dickey, and M.V.Pishko)
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《传感器百科全书》第 X 卷中的金刚石 MEMS 传感器（由 C.A.Grimes、E.C.Dickey 和 M.V.Pishko 编辑）
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T.Shibata
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作者：
T.Shibata
