エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第16報）－可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブリッド露光システムの開発－
エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第16報）－可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブリッド露光システムの開発－
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倏逝曝光型纳米立体光刻研究（第16次报告） - 可变NA传播光/倏逝光混合曝光系统的开发 -
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮川幸大，松澤亮，高橋哲，高増潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamada;M. and Saito;T.;Kazu Okumura;尾方成信;宮川幸大，松澤亮，高橋哲，高増潔
