LIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの試作
LIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの試作
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使用 LIGA 工艺的螺旋微线圈原型
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kawada;M. Sase;K. Amezawa;H. Watanabe;A. Unemoto;Y. Uchimoto;銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
