MOD法によりSi3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータのDC感度測定
MOD法によりSi3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータのDC感度測定
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MOD法测量Si3N4/SiO2膜上VOx微测辐射热计的直流灵敏度
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田 幸平，ヴァン・ニュ・ハイ，西岡 國生，松谷 晃宏，立木 隆，内田 貴司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村孝之;山根康平;増澤徹;川本龍一・木村孝之・増澤徹;前田 幸平，ヴァン・ニュ・ハイ，西岡 國生，松谷 晃宏，立木 隆，内田 貴司
