超音波アクチュエータ駆動ステージの精密位置決め制御
超音波アクチュエータ駆動ステージの精密位置決め制御
复制标题
超声波执行器驱动台的精确定位控制
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小坂光二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小畑慎一;佐藤和也;鶴田和寛;小坂光二
