Epitaxial Growth of Semiconducting BaSi_2 Thin Films on Si(111) Substrates by Reactive Deposition Epitaxy

Epitaxial Growth of Semiconducting BaSi_2 Thin Films on Si(111) Substrates by Reactive Deposition Epitaxy
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反应沉积外延法在Si(111)衬底上外延生长半导体BaSi_2薄膜

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics Vol.43, No.7A
影响因子:
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通讯作者:
Y.Inomata et al.
Y.Inomata et al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y.Inomata et al.;Y.Inomata et al.

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