クラスタープラズマによるＳｉドープＤＬＣの除去技術
クラスタープラズマによるＳｉドープＤＬＣの除去技術
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利用团簇等离子体去除Si掺杂DLC的技术
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田健一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirotaka Kano;Jiro Hiramoto;Toru Inazumi;Takeshi Uemori;Fusahito Yoshida;池田健一
