軟Ｘ線吸収分光法を用いたEUV用PHS系化学増幅系レジストの反応解析
軟Ｘ線吸収分光法を用いたEUV用PHS系化学増幅系レジストの反応解析
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使用软 X 射线吸收光谱对基于 PHS 的 EUV 化学放大抗蚀剂进行反应分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邊健夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邊健夫
