M.Negishi,S.Narumi,T.sato,K.Akashi: "Some effects of r.f.power impression and pretreatment of substrate on diamond CVD using a combustion flame plamsa" ICRP-2/SPP-11,Japan Society of Applied Physics. 231-234 (1994)

M.Negishi,S.Narumi,T.sato,K.Akashi: "Some effects of r.f.power impression and pretreatment of substrate on diamond CVD using a combustion flame plamsa" ICRP-2/SPP-11,Japan Society of Applied Physics. 231-234 (1994)
复制标题

M.Negishi、S.Narumi、T.sato、K.Akashi:“使用燃烧火焰等离子体对金刚石 CVD 进行射频功率印象和预处理的一些影响”ICRP-2/SPP-11,日本应用物理学会。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献