K.Katayama, et al.: "Transient reflecting grating spectroscopy for defect analysis in semiconductor surface layer"J.Appl.Phys.. 92・3. 1367-1371 (2002)
K.Katayama, et al.: "Transient reflecting grating spectroscopy for defect analysis in semiconductor surface layer"J.Appl.Phys.. 92・3. 1367-1371 (2002)
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K.Katayama等人：“用于半导体表面层缺陷分析的瞬态反射光栅光谱”J.Appl.Phys.. 92・3（2002）。
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