Release Agent-free Ultraviolet Nanoimprint Lithography using Cyclic Olefin Polymer and Polydimethylsiloxane Mold
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使用环烯烃聚合物和聚二甲基硅氧烷模具的无脱模剂紫外纳米压印光刻
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takatoki Yamamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Hashimoto;Katsuo Mogi;Takatoki Yamamoto
