シングルマスク傾斜リソグラフィにより作製したマイクロ橋脚構造を用いた fiber-FISH プロセスの高効率化
シングルマスク傾斜リソグラフィにより作製したマイクロ橋脚構造を用いた fiber-FISH プロセスの高効率化
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使用单掩模倾斜光刻制造的微桥结构实现高效光纤 FISH 工艺
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小寺秀俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平丸大介;鈴木孝明;福家有子;神野伊策;小寺秀俊
