n+GaN基板上n-GaN層の光電気化学(PEC)エッチング時のカソード電極

n+GaN基板上n-GaN層の光電気化学(PEC)エッチング時のカソード電極
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n+GaN 衬底上的 n-GaN 层光电化学 (PEC) 蚀刻过程中的阴极电极

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
福原昇,堀切文正,渡久地政周,三輪和希,大神洸貴,佐藤威友
福原昇,堀切文正,渡久地政周,三輪和希,大神洸貴,佐藤威友
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
坂本貴章;大多哲史;平野陽豊;二川雅登;福原昇,堀切文正,渡久地政周,三輪和希,大神洸貴,佐藤威友

文献摘要

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