KINETICS OF HIGH-TEMPERATURE THERMAL-DECOMPOSITION OF SIO2 ON SI(100)
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DOI：
10.1116/1.574564
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发表时间：
1987-07-01
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
RUBLOFF, GW
中科院分区：
文献类型：
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作者：
LIEHR, M;LEWIS, JE;RUBLOFF, GW
