Alkali-halogen Plasma Generation by dc Magnetron Discharge

Alkali-halogen Plasma Generation by dc Magnetron Discharge
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直流磁控管放电产生碱卤等离子体

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Applied Physics Letters 88・19
影响因子：
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通讯作者：
W.Oohara
W.Oohara
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Terasaki H.;Suzuki A.;Ohtani E.;W.Oohara

文献摘要

参考文献

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DOI： --
发表时间： 2005
期刊： Japanese Journal of Applied Physics 44・4A
影响因子： --
作者：
大野茂;森川泰成;大黒雅之;庄司研;加藤信介;金泰延;T.Izumida
通讯作者： T.Izumida