超臨界二酸化炭素処理を利用した微小レジストパターン基板間の密着強度の向上
超臨界二酸化炭素処理を利用した微小レジストパターン基板間の密着強度の向上
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使用超临界二氧化碳处理提高微抗蚀剂图案基材之间的粘合强度
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
肥後矢吉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石山千恵美;曽根正人;肥後矢吉
