プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成
プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成
复制标题
使用等离子体辅助反应工艺低温形成功能薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
節原 裕一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
竹中 弘祐，都甲 将，内田 儀一郎，江部 明徳;節原 裕一
