エアロゾルデポジション製膜中発光の分光測定によるその場温度推定
エアロゾルデポジション製膜中発光の分光測定によるその場温度推定
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通过气溶胶沉积成膜过程中发光的光谱测量来估计原位温度
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
明渡純
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松林康仁;伊藤剛仁;篠田健太郎;寺嶋和夫;明渡純
