N.Itabashi: "Diffusion coefficient and reaction rate constant of the SiH_3 radical in silane plasma" Jpn.J.Appl.Phys.28. 325-328 (1989)
N.Itabashi: "Diffusion coefficient and reaction rate constant of the SiH_3 radical in silane plasma" Jpn.J.Appl.Phys.28. 325-328 (1989)
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N.Itabashi：“硅烷等离子体中SiH_3自由基的扩散系数和反应速率常数”Jpn.J.Appl.Phys.28。
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