高温アニール・再成長により作製したAlNの結晶性に及ぼす核形成条件の影響
高温アニール・再成長により作製したAlNの結晶性に及ぼす核形成条件の影響
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成核条件对高温退火再生长AlN结晶度的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平山 秀樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
糸数 雄吏;桑葉 俊輔;定 昌史;鎌田 憲彦;平山 秀樹
