Local Characterization of Defect Sites at Grain and Grain Boundary of Polycrystalline Silicon Thin Films
Local Characterization of Defect Sites at Grain and Grain Boundary of Polycrystalline Silicon Thin Films
复制标题
多晶硅薄膜晶粒及晶界缺陷位点的局部表征
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Emi Machida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Emi Machida;et. al.;Emi Machida;Emi Machida
