大気圧プラズマジェット照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた材料表面ノエッチング
大気圧プラズマジェット照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いた材料表面ノエッチング
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使用能够进行大气压等离子体射流照射的扫描纳米移液管探针显微镜进行材料表面蚀刻
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森松 大亮，杉本 啓光，中村 篤志，萩野 明久，永津 雅章，岩田 太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshikazu Nakai;Daiki Shiozawa;Shoichi Kikuchi;Tomoya Obama;Hitoshi Saito;Taizo Makino;Yutaka Neishi;磯部浩已，渡部弘樹，原圭祐;森松 大亮，杉本 啓光，中村 篤志，萩野 明久，永津 雅章，岩田 太
