中空構造 SOI 層を用いたフレキシブル基板への転写技術におけるパターン微小化
中空構造 SOI 層を用いたフレキシブル基板への転写技術におけるパターン微小化
复制标题
使用中空结构SOI层的柔性基板转移技术中的图案小型化
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
東清一郎
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
竹島 真治;水上隆達;山下知徳;花房宏明;東清一郎
