Model calculation and visualization of time-dependent reactive gas mass balance change in Ti-O2 reactive sputtering
Model calculation and visualization of time-dependent reactive gas mass balance change in Ti-O2 reactive sputtering
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Ti-O2 反应溅射中随时间变化的反应气体质量平衡变化的模型计算和可视化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Eiji Kusano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuta Bohya;Keisuke Akinaga;Eiji Kusano;草野 英二;Eiji Kusano
