K.Nakagomi: "Control of electron energy in a large-diameter modified magnetron-typed RF discharge" Proc.15-th Symp.Plasma Processing. 597-600 (1998)
K.Nakagomi: "Control of electron energy in a large-diameter modified magnetron-typed RF discharge" Proc.15-th Symp.Plasma Processing. 597-600 (1998)
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K.Nakagomi：“大直径改进型磁控管型射频放电中电子能量的控制”Proc.15-th Symp.PlasmaProcessing。
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