Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface
Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface
复制标题
考虑抛光垫与工件表面接触行为的精加工效率提高
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
榎本俊之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
内藤達也;佐藤基起;佐竹うらら;廣瀬研二;榎本俊之
