ミニマルファブを活用した微小電子源の作製
ミニマルファブを活用した微小電子源の作製
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使用最小的晶圆厂制造微电子源
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
後藤康仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長尾昌善;村上勝久;辰巳憲之;クンプアンソマワン;原史朗;後藤康仁
