パリレン C 薄膜の引張特性に及ぼす膜厚の影響
パリレン C 薄膜の引張特性に及ぼす膜厚の影響
复制标题
膜厚对Parlene C薄膜拉伸性能的影响
DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Y-C. Ta
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
陳強;皮籠石紀雄;橋口原;鈴木孝明i;Y-C. Ta