PC基板上に製膜した酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス薄膜へのAlドーピングによる特性向上

PC基板上に製膜した酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス薄膜へのAlドーピングによる特性向上
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PC基板上氧化锌-氧化铟非晶薄膜的Al掺杂改善性能

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
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通讯作者:
ほか5名
ほか5名
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
森賀 俊広;ほか5名

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