超精密軸受回転誤差の原子トラッキングによる直接測定(第1報 : 測定原理と装置構想)

超精密軸受回転誤差の原子トラッキングによる直接測定(第1報 : 測定原理と装置構想)
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利用原子跟踪直接测量超精密轴承旋转误差(第1部分:测量原理和装置概念)

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,(2006), CO7 Vol. 2006A
影响因子:
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通讯作者:
奥山栄樹
奥山栄樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
明田川正人;パタマポーンチャイクール;奥山栄樹

文献摘要

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