Handbook of Thin Film Deposition
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DOI：
10.1016/c2009-0-64359-2
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发表时间：
2002-01
影响因子：
2.7
通讯作者：
K. Seshan;D. Schepis
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Seshan;D. Schepis
