吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング
吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング
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使用抽吸等离子体对二维层状材料进行广泛的单层蚀刻
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安藤 淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮脇 淳;久保 利隆;清水 哲夫;新堀俊一郎;高橋 賢;安藤 淳
