触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-単結晶SiC表面研磨の試み-
触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-単結晶SiC表面研磨の試み-
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利用催化作用进行SiC超精密抛光研究-单晶SiC表面抛光试验-
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;八木圭太;村田順二;原英之;宮本士郎;三村秀和;佐野泰久;山内和人
