水熱合成PZT多結晶膜を用いた超広帯域超音波トランスデューサ-成膜条件の最適化へ向けて-
水熱合成PZT多結晶膜を用いた超広帯域超音波トランスデューサ-成膜条件の最適化へ向けて-
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使用水热合成PZT多晶薄膜的超宽带超声波换能器 - 成膜条件的优化 -
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
竹内 真一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
石河 睦生;黒澤 実;長谷川 智仁;遠藤 聡人;竹内 真一