PLDネオジム磁石膜のMEMS応用を目指した特性評価
PLDネオジム磁石膜のMEMS応用を目指した特性評価
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用于MEMS应用的PLD钕磁体薄膜特性评估
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神谷 龍彦，藤原 良元，土方 亘，進士 忠彦，押領司 学，山下 昂洋，中野 正基
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中 駿也;藤原 良元;進士 忠彦;鈴木 健一;門田 祥悟;神谷 龍彦，藤原 良元，土方 亘，進士 忠彦，押領司 学，山下 昂洋，中野 正基
