遷移金属内包Siクラスターを単位構造としたシリサイド半導体とSiとの接合特性
遷移金属内包Siクラスターを単位構造としたシリサイド半導体とSiとの接合特性
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以含过渡金属的Si簇为单位结构的硅化物半导体与Si之间的键合特性
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金山敏彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
岡田直也;内田紀行;金山敏彦