S.Tanimoto: "Tantalum Oxide Films Formed by UV Photo-CVD using Ozone and TaCl_5" Jpn.J.Appl.Phys.30. L330-L333 (1991)
S.Tanimoto: "Tantalum Oxide Films Formed by UV Photo-CVD using Ozone and TaCl_5" Jpn.J.Appl.Phys.30. L330-L333 (1991)
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S.Tanimoto：“使用臭氧和 TaCl_5 通过 UV Photo-CVD 形成钽氧化物薄膜”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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