Al_2O_3/Ge構造における酸化機構の解明と界面反応がその特性に及ぼす影響

Al_2O_3/Ge構造における酸化機構の解明と界面反応がその特性に及ぼす影響
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阐明Al_2O_3/Ge结构中的氧化机理以及界面反应对其性能的影响

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柴山茂久 ら
柴山茂久 ら
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Shinji Sakamoto;Tetsuya Oda;Makoto Ikeda;Leonard Barolli;柴山茂久 ら

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