ラテラル結晶化Si薄膜におけるイオンチャネリング効果と固相結晶化
ラテラル結晶化Si薄膜におけるイオンチャネリング効果と固相結晶化
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横向结晶硅薄膜中的离子沟道效应和固相结晶
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井俊太朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中川;根尾;青木;三村;Takuya Sakata;Hidenori Mimura;塙裕 一郎;惣田 崇志;杉野林志;X. Zhu;阿部俊幸;原紘司;朱小莉;蒋迎東;藤井俊太朗
