センサ等搭載型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製プロセスの確立
センサ等搭載型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製プロセスの確立
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建立带有传感器等的探针显微镜悬臂的制造工艺。
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
纐纈 ゆかり
中科院分区：
文献类型：
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作者：
冨永洋子;竹歳麻紀子;冨永貴志;居郷 哲央;纐纈 ゆかり
