Effects of Vacuum Ultraviolet Light Illumination on the Residual Stress in Sol-gel-derived Titanium Dioxide Films
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真空紫外光照射对溶胶-凝胶法二氧化钛薄膜残余应力的影响
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Okada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Arimitsu;A.Nakajima;K.Saitou;Y.Kameshima;K.Okada
