Plasma Diagnostics in Plasma Processing for Nanotechnology and Nano-level Chemistry
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复制标题
纳米技术和纳米级化学等离子体处理中的等离子体诊断
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Akatsuka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Koike;T.Sakamoto;H.Kobori;H.Matsuura;H.Akatsuka;H.Akatsuka
