Si基板上エピタキシャルゾルゲル Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製

Si基板上エピタキシャルゾルゲル Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製
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Si衬底上外延溶胶-凝胶Pb(Zr,Ti)O3薄膜的制备

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
神野 伊策
神野 伊策
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
金山 裕一;權 相曉;譚 ゴオン;神野 伊策

文献摘要

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