低圧下での平坦な半極性r面AlGaN薄膜のMOVPE成長
低圧下での平坦な半極性r面AlGaN薄膜のMOVPE成長
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低压下平面半极性r面AlGaN薄膜的MOVPE生长
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赤池良太，船戸充，川上養一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuki Kanda;Hisato Iwata;赤池良太，船戸充，川上養一
