H_2载气流量对AlN缓冲层生长的影响
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张宝顺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
邓旭光;韩军;邢艳辉;汪加兴;崔明;陈翔;范亚明;朱建军;张宝顺
