触媒粒子を用いたエッチングにより形成されるシリコンの新規表面構造
触媒粒子を用いたエッチングにより形成されるシリコンの新規表面構造
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使用催化剂颗粒蚀刻形成的硅新表面结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松村道雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神田裕士;原田隆史;松村道雄
