Y. Ju(K. Inoue, M. Saka): "Contactless Measurement of Conductivity of Silicon Wafers by Microwaves"Proc. JSNDI Spring Conf. 2002. pp.29-32 (2002)
Y. Ju(K. Inoue, M. Saka): "Contactless Measurement of Conductivity of Silicon Wafers by Microwaves"Proc. JSNDI Spring Conf. 2002. pp.29-32 (2002)
复制标题
Y. Ju（K. Inoue，M. Saka）：“微波对硅片电导率的非接触式测量”Proc。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
